精密光学系统研究

开展高精密光学系统的光学设计与仿真、光学元件制造、微纳制造工艺、光学检测与测量、光学装调与环境控制、新光源技术和光学相关算法的研究。

加速器物理与技术

基于加速器的高功率光源,开展能量回收直线加速器(ERL)光源的物理设计与关键技术研发、全相干储存环光源的物理设计等研究。

微纳制造技术

围绕微纳器件制造,开展计算光刻、自组装制造、三维增材制造、原子制造等新原理、新方法、新工艺、新器件研究。

先进半导体材料

围绕光刻技术发展对先进光刻材料的需求,开展新型高性能材料、先进光刻工艺等研究。

精密光学系统研究

加速器物理与技术

微纳制造技术

先进半导体材料